三氯氢硅，是一种无机物，分子式为Cl3HSi，分子量为135.45，无色透明液体。用作高分子有机硅化合物的原料，也用于仪表工业。
三氯氢硅专用盘式干燥机特点
1.连续运行，热效率高。盘式连续干燥机以传导传热方式进行干燥，干燥过程中干燥器内只通入极少量（或不通入）空气，其尾气携带量很少，故其热效率可达 65%以上。
2.动力消耗低、噪音小。由于干燥过程中料层很薄，主轴转速低，物料传送系统所需的功率小，电耗很少，其全套干燥装置动力消耗仅是对流方式传热装置动力消耗的 1/5~1/7，且噪音很小。
3.物料受热均匀，干燥时间短。由于干燥过程中物料在干燥盘中沿阿基米德螺线运动轨迹翻滚前进，物料所走路程为干燥盘半径的 5 倍，且逐层下落，因此物料接触加热盘面时间基本相同，受热很均匀。
4.干燥机系统造价低：单位有效容积内拥有巨大的传热面，就缩短了处理时间，设备尺寸变小。就极大地减少了建筑面积及建筑空间。
5.环境污染小：不使用携带空气，粉尘物料夹带很少。物料溶剂蒸发量很小，便于处理。对有污染的物料或需回收溶剂的工况，可采用闭路循环。
6.操作费用低：该设备正常操作，仅 1 小时/天·人。低速搅拌及合理的结构。磨损量小，维修费用很低。
7.干燥过程用气量少、流速低，被气体带走的粉尘少：因此干燥后气体粉尘回收方便，而且回收设备简单，节省设备投资。对于有溶剂回收的干燥过程，可提高气体中溶剂浓度，使溶剂回收设备减小或流程缩短。
